[实用新型]一种多功能晶圆裂片机有效

专利信息
申请号: 202122483227.4 申请日: 2021-10-15
公开(公告)号: CN216120226U 公开(公告)日: 2022-03-22
发明(设计)人: 古德宗;廖浚男;范光宇 申请(专利权)人: 嘉兴市扬佳科技合伙企业(有限合伙)
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/78
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 王家蕾
地址: 314513 浙江省嘉兴市桐*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 多功能 裂片
【权利要求书】:

1.一种多功能晶圆裂片机,其特征在于,包括:

工作台(1),所述工作台(1)的顶端设置有台盘(2),所述工作台(1)顶端的两侧均滑动设置有滑块(3),两个所述滑块(3)相对的一侧均固定连接有固定块(4),两个所述固定块(4)之间设置有辊压机构;

辅助机构,所述辅助机构设有两组,所述辅助机构由橡胶刮板(7)、两个连接块(8)和弹簧(10)组成,所述橡胶刮板(7)设置于两个固定块(4)之间,两个所述连接块(8)分别固定连接于橡胶刮板(7)的两侧,两个所述固定块(4)相对的一侧均开设有第一滑槽(9),两个所述连接块(8)分别滑动连接于两个第一滑槽(9)的内壁,两个所述弹簧(10)分别设置于两个第一滑槽(9)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆裂片机,其特征在于,所述弹簧(10)的一端与连接块(8)的正面固定连接,所述弹簧(10)的另一端与第一滑槽(9)的内壁固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆裂片机,其特征在于,所述辊压机构包括胶辊(5),两个所述固定块(4)相对的一侧均固定连接有固定轴(6),所述胶辊(5)转动连接于两个固定轴(6)之间,所述橡胶刮板(7)的边侧与胶辊(5)的外壁贴合设置。

4.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆裂片机,其特征在于,所述第一滑槽(9)内壁的顶端和底端均开设有第一限位槽(11),所述连接块(8)的顶端和底端均固定连接有第一限位块(12),两个第一限位块(12)的外壁分别与两个第一限位槽(11)的内壁滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆裂片机,其特征在于,所述工作台(1)的顶端固定连接有两个固定条(13),两个所述滑块(3)的底端均开设有第二滑槽(14),两个所述固定条(13)的外壁分别与两个第二滑槽(14)的内壁滑动连接,所述第二滑槽(14)内壁的一侧固定连接有第二限位块(16),所述固定条(13)的一侧开设有第二限位槽(15),所述第二限位块(16)的外壁与第二限位槽(15)的内壁滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种多功能晶圆裂片机,其特征在于,所述第二滑槽(14)的内壁对称转动连接有两个转轴(17),两个所述转轴(17)之间设置有滚轮(18),所述滚轮(18)的外壁与固定条(13)的顶端贴合设置。

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