[实用新型]一种真空镀膜机的遮挡装置有效
| 申请号： | 202122444731.3 | 申请日： | 2021-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN216192650U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 黄鹏飞;朱星宇 | 申请（专利权）人： | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/30;C23C14/14;C23C14/50 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的遮挡装置，所述遮挡装置安装于真空镀膜机的镀膜腔的上部，所述遮挡装置包括若干个固定于镀膜腔内壁上的支座，每个支座上均摆动安装有摆杆，所述摆杆上固定有用于部分遮挡镀膜腔上部镀膜区域的遮挡片，所述遮挡片径向延伸，遮挡片上具有用于遮挡外圈基片的外遮挡部和用于内圈基片的内遮挡部，外遮挡部的面积大于内遮挡部的面积，所述摆杆由偏摆动力装置驱动偏摆。该遮挡装置能够在镀膜的过程中选择性遮挡内圈基片和外圈基片的镀膜面积，从而使内圈基片和外圈的镀膜厚度尽可能均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 遮挡 装置 | ||
【主权项】：
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