[实用新型]一种真空镀膜机的遮挡装置

权利要求书

1.一种真空镀膜机的遮挡装置，其特征在于：所述遮挡装置安装于真空镀膜机的镀膜腔的上部，所述遮挡装置包括若干个固定于镀膜腔内壁上的支座，每个支座上均摆动安装有摆杆，所述摆杆上固定有用于部分遮挡镀膜腔上部镀膜区域的遮挡片，所述遮挡片径向延伸，遮挡片上具有用于遮挡外圈基片的外遮挡部和用于内圈基片的内遮挡部，外遮挡部的面积大于内遮挡部的面积，所述摆杆由偏摆动力装置驱动偏摆。

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的遮挡装置，其特征在于：所述偏摆动力装置包括竖直安装于镀膜腔的上腔体上的直线动力装置，所述直线动力装置的输出端固定有驱动齿条，所述摆杆的一端设置有与驱动齿条啮合的齿轮，所述支座上设置有限制摆杆摆动角度的限位结构。

3.如权利要求2所述的一种真空镀膜机的遮挡装置，其特征在于：所述限位结构包括设置于支座上的上限位块和下限位块，所述驱动齿条上设置有伸入到上限位块和下限位块之间的限位凸起。

4.如权利要求3所述的一种真空镀膜机的遮挡装置，其特征在于：所述遮挡片与摆杆之间通过若干个螺栓紧固件固定。

5.如权利要求4所述的一种真空镀膜机的遮挡装置，其特征在于：所述驱动齿条的顶部与直线动力装置的输出端焊接固定，所述驱动齿条的顶部设置有二次限位凸起。

6.如权利要求5所述的一种真空镀膜机的遮挡装置，其特征在于：所述支座的数量为四个且位于矩形的四个顶点。

7.如权利要求6所述的一种真空镀膜机的遮挡装置，其特征在于：所述直线动力装置为气缸，所述气缸固定于镀膜腔的上腔体顶部，所述上腔体的内部固定有保护套，所述支座连接于保护套的下端，所述气缸的活塞杆伸入到保护套内。