[实用新型]一种真空镀膜机的镀膜腔有效
| 申请号： | 202122444675.3 | 申请日： | 2021-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN216192664U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 杨涛;陆瑞珠 | 申请（专利权）人： | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的镀膜腔，包括腔体，所述腔体包括立式的中间腔体，中间腔体的底部固定有用于安装镀膜机的坩埚和电子枪的下腔体，中间腔体的顶部固定有用于自转架的上腔体，中间腔体的侧面设置有用于连接冷却腔室的冷却管接头，中间腔体的内壁上还可拆卸固定有若干块防护板，各防护板覆盖所述镀膜腔的整个内壁，所述镀膜腔的内壁和防护板之间还设置有电加热板，所述中间腔体的侧壁上设置有检修门。该真空镀膜机的镀膜腔能够在真空形成的过程中进行辅助加热，使镀膜腔内尽可能的干燥，同时对镀膜腔的内壁起到很好的防护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 镀膜 | ||
【主权项】：
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