[实用新型]一种真空镀膜机的镀膜腔

权利要求书

1.一种真空镀膜机的镀膜腔，包括腔体，其特征在于：所述腔体包括立式的中间腔体，所述中间腔体的底部固定有用于安装镀膜机的坩埚和电子枪的下腔体，所述中间腔体的顶部固定有用于自转架的上腔体，所述中间腔体的侧面设置有用于连接冷却腔室的冷却管接头，所述中间腔体的内壁上还可拆卸固定有若干块防护板，各防护板覆盖所述镀膜腔的整个内壁，所述镀膜腔的内壁和防护板之间还设置有电加热板，所述中间腔体的侧壁上设置有检修门。

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的镀膜腔，其特征在于：所述镀膜腔的内壁上设置有若干个连接螺柱，每个电加热板和防护板上均设置有与连接螺柱对应的安装孔，所述连接螺柱贯穿电加热板和防护板上的所述安装孔后并通过螺母压紧。

3.如权利要求2所述的一种真空镀膜机的镀膜腔，其特征在于：所述的镀膜腔的侧壁上还设置有安装腔室，所述安装腔室上固定有冷头和与冷头相连接的冷凝板，所述冷凝板处于安装腔室内，所述安装腔室上滑动安装有将安装腔室封堵或打开的封堵防护板，该封堵防护板由开闭动力装置驱动。

4.如权利要求3所述的一种真空镀膜机的镀膜腔，其特征在于：所述检修门铰接于所述镀膜腔的外壁上，所述检修门上设置有观察视镜，所述检修门上还设置有操作窗口，所述检修门上铰接有将操作窗口关闭或打开的操作门。

5.如权利要求4所述的一种真空镀膜机的镀膜腔，其特征在于：所述下腔体包括下封板和底板，所述下封板位于底板的上方且两者通过支撑螺柱连接，所述坩埚和电子枪设置于底板和下封板之间，该下封板上设置有与坩埚位置对应的逸出孔，所述底板可拆卸固定于中间腔体的下端。

6.如权利要求5所述的一种真空镀膜机的镀膜腔，其特征在于：所述中间腔室或上腔室的侧壁上还设置有用于氮气供应系统联通的破空管接口。