[实用新型]一种多晶氮化镓生长装置有效
| 申请号： | 202122281342.3 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN215481421U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 谈逊;谈谦;曾龙辉;谈宇清 | 申请（专利权）人： | 华厦半导体（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/40 |
| 代理公司： | 合肥市都耒知识产权代理事务所(普通合伙) 34227 | 代理人： | 邱丹 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区坪地街道坪西社*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体材料技术领域，且公开了一种多晶氮化镓生长装置，包括进气管以及与进气管连通的喷粉管，所述进气管的进气端固定连通有筒体，所述筒体向下形成开口；所述筒体的内部固定安装有承接斗，所述承接斗的内部镶嵌有电热丝，所述承接斗固定连通有存放管，所述存放管的内部转动套接有成型件；所述成型件连接有驱动封堵机构；所述筒体通过连通管与进气管连通，所述连通管上安装有第一单向阀，所述进气管上安装有第二单向阀，所述筒体的内部固定安装有加热丝。本实用新型提出一种多晶氮化镓生长装置，本实用新型通过对氮化镓气体进行循环利用；通过驱动封堵机构，对成型件进行驱动，提高氮化镓成型的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 氮化 生长 装置 | ||
【主权项】：
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