[实用新型]一种多晶氮化镓生长装置

权利要求书

1.一种多晶氮化镓生长装置，包括进气管(1)以及与进气管(1)连通的喷粉管(11)，其特征在于：所述进气管(1)的进气端固定连通有筒体(2)，所述筒体(2)向下形成开口；

所述筒体(2)的内部固定安装有承接斗(3)，所述承接斗(3)的内部镶嵌有电热丝(12)，所述承接斗(3)固定连通有存放管(4)，所述存放管(4)的内部转动套接有成型件(5)；

所述成型件(5)连接有驱动封堵机构(6)；

所述筒体(2)通过连通管(7)与进气管(1)连通，所述连通管(7)上安装有第一单向阀(8)，所述进气管(1)上安装有第二单向阀(9)，所述筒体(2)的内部固定安装有加热丝(10)。

2.根据权利要求1所述的多晶氮化镓生长装置，其特征在于，所述成型件(5)包括多个成型盘(51)和多个连接杆(52)，两个相邻的成型盘(51)之间通过连接杆(52)连接，所述成型盘(51)位于进气管(1)的内部。

3.根据权利要求2所述的多晶氮化镓生长装置，其特征在于，所述驱动封堵机构(6)包括驱动电机(61)、封堵板(62)、驱动杆(63)和底板(64)，所述驱动杆(63)的一端与驱动电机(61)驱动轴固定连接，所述驱动杆(63)的另一端与成型盘(51)固定连接，所述底板(64)与封堵板(62)均固定套装在驱动杆(63)上，所述底板(64)与存放管(4)的内壁转动连接，所述封堵板(62)与筒体(2)的内壁转动连接。

4.根据权利要求2所述的多晶氮化镓生长装置，其特征在于，所述成型盘(51)与存放管(4)上均开设有通孔。

5.根据权利要求1所述的多晶氮化镓生长装置，其特征在于，所述连通管(7)的内壁铺设有加热片。

6.根据权利要求1所述的多晶氮化镓生长装置，其特征在于，所述筒体(2)上安装有压力表(13)，所述筒体(2)的一侧连通有排气管(14)，且排气管(14)上固定安装有压力阀(15)。