[实用新型]一种支撑掩膜版、支撑掩膜组件及蒸镀掩膜部件有效
| 申请号： | 202122224788.2 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN215593170U | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 钱超;杨柯;吴建 | 申请（专利权）人： | 常州高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董成 |
| 地址： | 213311 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出的一种支撑掩膜版、支撑掩膜组件及蒸镀掩膜部件，涉及蒸镀掩膜领域。该支撑掩膜版上具有若干上下贯通的蒸镀孔，蒸镀孔呈矩形阵列的形式排列；所述的蒸镀孔的上口处设置有凹槽，该凹槽从蒸镀孔的上口边缘向蒸镀孔的外围扩展；凹槽的宽度为d1，蒸镀孔的上口宽度为d2，1mm≤d1‑d2≤3mm。所述的支撑掩膜组件包括上述支撑掩膜版和掩膜框架，支撑掩膜版设置在掩膜框架的上侧。所述的蒸镀掩膜部件包括上述的支撑掩膜组件和精细金属掩膜版，精细金属掩膜版设置在支撑掩膜版的上侧。本实用新型用于蒸镀时，能够避免在显示装置的显示区域边缘产生“混色”缺陷，有利于提高显示装置的蒸镀产出良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 掩膜版 组件 蒸镀掩膜 部件 | ||
【主权项】：
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