[实用新型]半导体行业氦气回收再利用有毒有害气体的去除装置

摘要

本实用新型属于氦气回收技术领域，尤其是半导体行业氦气回收再利用有毒有害气体的去除装置，针对背景技术提出的氦气中的有毒气体难去除的问题，现提出以下方案，包括安装架，所述安装架顶部外壁设置有预警机构，且预警机构包括焊接于安装架顶部外壁上的安装板、通过螺栓固定连接于安装板一侧外壁上的有毒气体传感器、连接于有毒气体传感器底部外壁上的探针、设置于有毒气体传感器一侧的警报器。本实用新型通过有毒气体传感器和警报器的相互配合，起到了很好的预警效果，过滤箱内的活性炭滤芯可吸收一部分有毒气体，净化器将剩余的有毒气体净化，并将氦气输送到氦气收集罐内，本装置对于有毒气体的吸收效果好，氦气得到了回收利用。