[实用新型]一种半导体加工设备的散热设备

摘要

本实用新型公开了一种半导体加工设备的散热设备，包括加工设备本体，所述加工设备本体的左侧开设有第一开口，所述第一开口的内腔插接有出风管道，所述加工设备本体的右侧靠近顶部与底部处均开设有第二开口，所述加工设备本体的右侧固定连接有进风管道，所述进风管道的顶部靠近左侧处固定连接有电机，所述电机的动力输出轴固定连接有动力杆，通过各部件间的相互配合，使得该设备具有通过联动关系使得对设备具有散热降温的同时，且具有对过滤网清理的功能，避免了人工长时间进行手动清理，降低了人工的劳动量，且清理效果相比较人工而言更加彻底，效率更高。