[实用新型]角度测量装置有效
| 申请号： | 202121886016.9 | 申请日： | 2021-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN215676968U | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 周智元;季文明;谢金坤;康明;秦晓雄;高栋栋;严添悦 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/22 | 分类号： | G01B21/22 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 张敏 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种角度测量装置，用于测量晶棒定向时的转动角度，包括：Notch卡块，与所述晶棒上开设的Notch槽相配合；连接板，平行于所述晶棒的端面，且所述连接板的第一端连接所述Notch卡块；角度编码器，位于所述晶棒的中心轴线上，且连接所述连接板的第二端；在所述晶棒定向的过程中，所述Notch卡块卡入所述Notch槽，通过所述连接板带动所述角度编码器与所述晶棒同心旋转，以测量所述晶棒的转动角度。本实用新型实现了角度编码器与晶棒同心转动，减少或避免二者错位，从而提高晶棒转动角度测量的准确性和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 角度 测量 装置 | ||
【主权项】：
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