[实用新型]角度测量装置有效
| 申请号： | 202121886016.9 | 申请日： | 2021-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN215676968U | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 周智元;季文明;谢金坤;康明;秦晓雄;高栋栋;严添悦 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/22 | 分类号： | G01B21/22 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 张敏 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 角度 测量 装置 | ||
1.一种角度测量装置，用于测量晶棒定向时的转动角度，其特征在于，包括：
Notch卡块，与所述晶棒上开设的Notch槽相配合；
连接板，平行于所述晶棒的端面，且所述连接板的第一端连接所述Notch卡块；
角度编码器，位于所述晶棒的中心轴线上，且连接所述连接板的第二端；
在所述晶棒定向的过程中，所述Notch卡块卡入所述Notch槽，通过所述连接板带动所述角度编码器与所述晶棒同心旋转，以测量所述晶棒的转动角度。
2.如权利要求1所述的角度测量装置，其特征在于，所述连接板为可伸缩式连接板。
3.如权利要求1或2所述的角度测量装置，其特征在于，所述连接板的长度范围包括100mm～300mm，宽度范围包括5mm～10mm，高度范围包括3mm～5mm。
4.如权利要求1或2所述的角度测量装置，其特征在于，所述角度编码器通过一旋转轴连接所述连接板的第二端，且所述旋转轴与所述晶棒的端面垂直。
5.如权利要求4所述的角度测量装置，其特征在于，所述旋转轴的直径范围包括10mm～20mm，高度范围包括5mm～10mm。
6.如权利要求4所述的角度测量装置，其特征在于，所述角度编码器与所述旋转轴之间通过螺纹连接，并采用销轴结构固定。
7.如权利要求6所述的角度测量装置，其特征在于，所述角度编码器的表面中心设置有螺纹顶针，所述旋转轴的一端设置有与所述螺纹顶针相配合的螺纹孔。
8.如权利要求4所述的角度测量装置，其特征在于，所述连接板与所述旋转轴之间通过销轴结构固定。
9.如权利要求1或2所述的角度测量装置，其特征在于，所述Notch卡块平行于所述晶棒端面的截面为等腰直角三角形或扇形。
10.如权利要求1或2所述的角度测量装置，其特征在于，所述连接板与所述Notch卡块之间通过螺纹连接并采用销轴结构固定。
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