[实用新型]角度测量装置

说明书

本实用新型提供了一种角度测量装置，用于测量晶棒定向时的转动角度，包括：Notch卡块，与所述晶棒上开设的Notch槽相配合；连接板，平行于所述晶棒的端面，且所述连接板的第一端连接所述Notch卡块；角度编码器，位于所述晶棒的中心轴线上，且连接所述连接板的第二端；在所述晶棒定向的过程中，所述Notch卡块卡入所述Notch槽，通过所述连接板带动所述角度编码器与所述晶棒同心旋转，以测量所述晶棒的转动角度。本实用新型实现了角度编码器与晶棒同心转动，减少或避免二者错位，从而提高晶棒转动角度测量的准确性和精度。

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造技术领域，尤其涉及一种角度测量装置。

背景技术

在集成电路制造技术领域，通常需要在硅片上做一个Notch槽来标明晶体结构及硅片晶向，其中，硅片晶向的定向过程包括：对一晶棒进行定向，使所述晶棒的任一晶向垂直于粘棒托并将其粘接固定，随后，对所述晶棒进行线切割，从而形成具有目标硅片晶向的硅片。

在晶棒定向前，需要量测晶棒中原始晶体面的晶向，并结合设置的目标定向角度计算得到所述晶棒旋转至所述目标定向角度所需的转动角度；晶棒定向的过程中，连接有角度编码器的真空负压吸盘吸附在所述晶棒的端面并随着所述晶棒同心转动，通过所述角度编码器反馈接收所述晶棒的实时转动角度以使所述晶棒转动至目标定向角度。

然而，在所述真空负压吸盘与所述晶棒同心转动的过程中，所述晶棒端面的洁净度差会影响所述真空负压吸盘与晶棒端面的吸附情况，严重时可能造成错位；同时，所述晶棒的直径不均匀可能导致所述晶棒的中心不断变化，从而使得所述真空负压吸盘与所述晶棒不同心，而所述真空负压吸盘与所述晶棒不同心时也可能导致所述真空负压吸盘与所述晶棒端面在转动过程中发生错位。此外，由于不同晶棒具有的直径不同，当所述真空负压吸盘的直径与所述晶棒的直径差异过大时，所述真空负压吸盘无法稳定地吸附于所述晶棒的端面，从而影响测量结构的准确性，严重时甚至无法测量所述晶棒的转动角度，进而导致切割晶棒异常波动，无法达到理想切割晶向的效果。

鉴于此，需要一种装置提高晶棒转动角度测量的准确性和精度，同时适用于各种直径的晶棒的转动角度的测量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种角度测量装置，确保角度编码器与晶棒同心转动，减少或避免二者错位，从而提高晶棒转动角度测量的准确性和精度。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种角度测量装置，用于测量晶棒定向时的转动角度，包括：

Notch卡块，与所述晶棒上开设的Notch槽相配合；

连接板，平行于所述晶棒的端面，且所述连接板的第一端连接所述Notch卡块；

角度编码器，位于所述晶棒的中心轴线上，且连接所述连接板的第二端；

在所述晶棒定向的过程中，所述Notch卡块卡入所述Notch槽，通过所述连接板带动所述角度编码器与所述晶棒同心旋转，以测量所述晶棒的转动角度。

可选的，所述连接板为可伸缩式连接板。

可选的，所述连接板的长度范围包括100mm～300mm，宽度范围包括5mm～10mm，高度范围包括3mm～5mm。

可选的，所述角度编码器通过一旋转轴连接所述连接板的第二端，且所述旋转轴与所述晶棒的端面垂直。

可选的，所述旋转轴的直径范围包括10mm～20mm，高度范围包括5mm～10mm。

可选的，所述角度编码器与所述旋转轴之间通过螺纹连接，并采用销轴结构固定。

可选的，所述角度编码器的表面中心设置有螺纹顶针，所述旋转轴的一端设置有与所述螺纹顶针相配合的螺纹孔。

可选的，所述连接板与所述旋转轴之间通过销轴结构固定。