[实用新型]一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具

摘要

本实用新型公开了一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，包括夹具本体，为设备主要的夹持结构，所述夹具本体的内表面设置有连接臂，所述连接臂的另一端连接有螺杆；清洗池，位于所述夹具本体的底端，所述清洗池的内表面设置有连接杆；套筒，位于所述夹具本体的顶端，所述套筒内部与所述的螺杆外表面相互连接。该提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，通过设置八个支撑座对掩膜版的侧面进行固定，能够提高对掩膜版支撑的稳定性，避免在清洗过程中施力不均匀而导致掩膜版从夹具内部翘起，不仅增加了清洗的安全性，同时也增加了对掩膜版的清洗效率。