[实用新型]一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具

权利要求书

1.一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，其特征在于，包括：

夹具本体(1)，为设备主要的夹持结构，夹具本体(1)的内表面设置有连接臂(2)，连接臂(2)的另一端连接有螺杆(3)；

清洗池(8)，位于夹具本体(1)的底端，清洗池(8)的内表面设置有连接杆(9)；

套筒(10)，位于夹具本体(1)的顶端，套筒(10)内部与的螺杆(3)外表面相互连接。

2.根据权利要求1所述的一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，其特征在于：所述夹具本体(1)顶表面环形分布有第一支撑座(4)和第二支撑座(5)，所述第一支撑座(4)和第二支撑座(5)关于夹具本体(1)横竖切面镜像分布，所述第一支撑座(4)和第二支撑座(5)数量为8个。

3.根据权利要求2所述的一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，其特征在于：所述第一支撑座(4)和第二支撑座(5)内部均设置有限位槽(6)，所述限位槽(6)内部设置有缓冲凸点(7)。

4.根据权利要求2所述的一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，其特征在于：所述第一支撑座(4)与第二支撑座(5)的长度小于夹具本体(1)厚度。

5.根据权利要求1所述的一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，其特征在于：所述螺杆(3)与套筒(10)为螺纹连接，所述套筒(10)通过连接杆(9)与清洗池(8)相互连接，所述套筒(10)与清洗池(8)之间形成排水槽(11)。

6.根据权利要求1所述的一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，其特征在于：所述夹具本体(1)顶端设置有掩膜版(12)，所述掩膜版(12)与夹具本体(1)为贴合活动连接。