[实用新型]一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具

说明书

本实用新型公开了一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，包括夹具本体，为设备主要的夹持结构，所述夹具本体的内表面设置有连接臂，所述连接臂的另一端连接有螺杆；清洗池，位于所述夹具本体的底端，所述清洗池的内表面设置有连接杆；套筒，位于所述夹具本体的顶端，所述套筒内部与所述的螺杆外表面相互连接。该提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，通过设置八个支撑座对掩膜版的侧面进行固定，能够提高对掩膜版支撑的稳定性，避免在清洗过程中施力不均匀而导致掩膜版从夹具内部翘起，不仅增加了清洗的安全性，同时也增加了对掩膜版的清洗效率。

技术领域

本实用新型涉及掩膜版夹具技术领域，具体为一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具。

背景技术

掩膜版的湿法清洗系统一般由用化学反应去除有机物、用毛刷物理力量去除大颗粒、用超声波空穴效应去除小颗粒、用水分子的运动能量去除小颗粒、用纯N2去干燥掩膜版等五大功能模块组成，在清洗的过程中需要夹具进行限位固定，避免滑落对掩膜版造成损伤。

然而现有9寸掩膜版的四个角距离夹具支撑点较远，约等于掩膜版边长的一半为114.3mm，当毛刷清洗到掩膜版的四个边角时，根据杠杆原理，操作员工稍微用力大一点或者用力不均匀，就很容易把掩膜版整体从夹具上翘起或者脱离支撑部位，不仅会导致掩膜版表面不平，影响清洗效果，同时还容易导致掩膜版背面有刮痕甚至甩出夹具等报废，因此，需要一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，以解决上述背景技术中提出现有9寸掩膜版的四个角距离夹具支撑点较远，约等于掩膜版边长的一半为114.3mm，当毛刷清洗到掩膜版的四个边角时，根据杠杆原理，操作员工稍微用力大一点或者用力不均匀，就很容易把掩膜版整体从夹具上翘起或者脱离支撑部位，不仅会导致掩膜版表面不平，影响清洗效果，同时还容易导致掩膜版背面有刮痕甚至甩出夹具等报废的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，包括：

夹具本体，为设备主要的夹持结构，所述夹具本体的内表面设置有连接臂，所述连接臂的另一端连接有螺杆；

清洗池，位于所述夹具本体的底端，所述清洗池的内表面设置有连接杆；

套筒，位于所述夹具本体的顶端，所述所述套筒内部与所述的螺杆外表面相互连接。

作为本实用新型的优选技术方案，所述夹具本体顶表面环形分布有第一支撑座和第二支撑座，所述第一支撑座和第二支撑座关于夹具本体横竖切面镜像分布，所述第一支撑座和第二支撑座数量为8个。

采用上述技术方案，第一支撑座和第二支撑座对称设置，且环形分布在夹具本体的顶端外表面，能够为掩膜版每个面的两端进行限位，增加掩膜版的受力点，避免在清洗时因受力点集中而导致外层皮翘起。

作为本实用新型的优选技术方案，所述第一支撑座和第二支撑座内部均设置有限位槽，所述限位槽内部设置有缓冲凸点。

采用上述技术方案，第一支撑座和第二支撑座通过限位槽与掩膜版外表面相互吻合，并且由缓冲凸点增加与掩膜版的摩擦力，避免在清洗时受力不均匀而导致掩膜版掉落。

作为本实用新型的优选技术方案，所述第一支撑座与第二支撑座的长度小于夹具本体厚度。

采用上述技术方案，第一支撑座与第二支撑座数量与位置分散均匀，使掩膜版外表面与第一支撑座与第二支撑座支撑点的受力更加稳定。

作为本实用新型的优选技术方案，所述螺杆与套筒为螺纹连接，所述套筒通过连接杆与清洗池相互连接，所述套筒与清洗池之间形成排水槽。

采用上述技术方案，螺杆与套筒内部螺纹传动，能够调节夹具本体的高度，并且高度保持一致，同时还可以调节掩膜版的朝向。