[实用新型]一种真空悬浮镀膜设备

摘要

本实用新型公开一种真空悬浮镀膜设备，包括外壳、安装于外壳内部的内壳以及放置于内壳内部的工件载具，内壳的封闭端设置有连接抽气系统的抽气接口，内壳的开放端设置有用于工件载具进出的开口，外壳的开放端设置有密封门，密封门内侧安装有盖板，盖板内侧安装有匀流板总成，密封门关闭时盖板封闭开口，匀流板总成由开口伸入内壳，盖板和匀流板总成之间设置有空间间隔，匀流板总成上设置有连通空间间隔和内壳内部空间的气孔，通过多个工艺气体通道连通空间间隔，用于将多种类型的气体输送至空间间隔。使工艺气体成分流动更为均匀，腔体内部的流道短，可以有效防止MO源的凝结，进而设备可以使用的工艺腔体尺寸更大，提升设备可靠性和适用性。