[实用新型]一种刻蚀槽、硅片处理系统及太阳能电池制造系统

摘要

本实用新型公开一种刻蚀槽、硅片处理系统及太阳能电池制造系统，涉及光伏技术领域，以提高臭氧水溶液刻蚀槽的刻蚀效果。该刻蚀槽用于容纳刻蚀剂并刻蚀硅片；刻蚀槽包括主槽、辅槽和链式传输装置。主槽具有盖合主槽的密封盖；主槽的侧壁开设有硅片进口和硅片出口；链式传输装置设在主槽内硅片进口和硅片出口之间；辅槽围设在主槽外，辅槽与主槽的侧壁之间具有间隙，辅槽与主槽通过给液装置连通。本实用新型提供的刻蚀槽、硅片处理系统及太阳能电池制造系统用于制造太阳能电池。