[实用新型]一种具有双坩埚结构的真空蒸镀机有效
| 申请号： | 202121473759.3 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN216947166U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人： | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 赵成磊 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种具有双坩埚结构的真空蒸镀机，所述真空蒸镀机的主腔体的底板上设置有坩埚结构，所述坩埚结构包括：坩埚部和加热源，所述坩埚用于盛放蒸镀材料，所述加热源用于将坩埚内的蒸镀材料从固态升华为气态，所述坩埚结构有两个，两个坩埚结构之间具有间距，两个坩埚结构设置在主腔体的底板的水平中心线上，真空蒸镀机的主腔室的上部设置有一个或多个镀锅，镀锅的形状为水平圆板或者为伞面状，坩埚结构镀膜时坩埚内的蒸镀材料以圆锥体的形状向上蒸发，其散射角为，在坩埚的中心垂直面上的向上蒸发的蒸镀材料的形状为散射面，两个坩埚结构的散射面的上表面之间的重合长度或者间距长度小于所述镀锅的直径的1/3。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 坩埚 结构 真空 蒸镀机 | ||
【主权项】：
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