[实用新型]一种高频感应单晶炉热场有效

专利信息
申请号: 202121296741.0 申请日: 2021-06-09
公开(公告)号: CN214992004U 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 严辉 申请(专利权)人: 蔻晶(上海)科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 代理人: 高红
地址: 201699 上海市松江区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及一种高频感应单晶炉热场,包括炉体,所述炉体的上部贯穿转动设有籽晶杆,所述炉体的底端贯穿转动设有坩埚托杆,所述坩埚托杆的顶端延伸至所述炉体内且固定连接有坩埚托盘,所述坩埚托盘的顶端设有石墨坩埚,所述石墨坩埚内填充有石英砂且石英砂的顶端设有石英坩埚,所述石英坩埚位于所述籽晶杆的正下方,所述石墨坩埚的外围环绕设有感应线圈,所述炉体的顶端内壁上对称固定设有气缸一,所述气缸一的输出端均固定连接有支板,所述支板远离所述籽晶杆的一侧底端均固定设有气缸二,所述气缸二的输出端均固定连接有连接杆,本实用新型结构简单,可以方便调节石英坩埚至与籽晶杆处于同轴的位置,进而有效的提高了生产的质量。
搜索关键词: 一种 高频 感应 单晶炉热场
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