[实用新型]一种高频感应单晶炉热场

说明书

本实用新型涉及一种高频感应单晶炉热场，包括炉体，所述炉体的上部贯穿转动设有籽晶杆，所述炉体的底端贯穿转动设有坩埚托杆，所述坩埚托杆的顶端延伸至所述炉体内且固定连接有坩埚托盘，所述坩埚托盘的顶端设有石墨坩埚，所述石墨坩埚内填充有石英砂且石英砂的顶端设有石英坩埚，所述石英坩埚位于所述籽晶杆的正下方，所述石墨坩埚的外围环绕设有感应线圈，所述炉体的顶端内壁上对称固定设有气缸一，所述气缸一的输出端均固定连接有支板，所述支板远离所述籽晶杆的一侧底端均固定设有气缸二，所述气缸二的输出端均固定连接有连接杆，本实用新型结构简单，可以方便调节石英坩埚至与籽晶杆处于同轴的位置，进而有效的提高了生产的质量。

技术领域

本实用新型涉及一种高频感应单晶炉热场，属于单晶炉热场技术领域。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉的内部结构形成热场。

单晶炉热场在使用前，需要人工将原料放置在坩埚内，然后通过经验和测量，将石英坩埚放置在石英砂的合适位置处，并通过转动籽晶杆测量石英坩埚是否与籽晶杆处于同轴状态，此种方法使得操作较为复杂，测量不够准确，进而影响生产的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高频感应单晶炉热场，本实用新型结构简单，使用方便，可以方便调节石英坩埚至与籽晶杆处于同轴的位置，进而有效的提高了生产的质量，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种高频感应单晶炉热场，包括炉体，所述炉体的上部贯穿转动设有籽晶杆，所述炉体的底端贯穿转动设有坩埚托杆，所述坩埚托杆的顶端延伸至所述炉体内且固定连接有坩埚托盘，所述坩埚托盘的顶端设有石墨坩埚，所述石墨坩埚内填充有石英砂且石英砂的顶端设有石英坩埚，所述石英坩埚位于所述籽晶杆的正下方，所述石墨坩埚的外围环绕设有感应线圈，所述炉体的顶端内壁上对称固定设有气缸一，所述气缸一的输出端均固定连接有支板，所述支板远离所述籽晶杆的一侧底端均固定设有气缸二，所述气缸二的输出端均固定连接有连接杆，所述连接杆的另一端均固定连接有罩体。

进一步的，所述炉体的前侧铰接有门体，且所述门体的前侧固定设有把手，所述门体上贯穿固定嵌设有透明观察窗。

进一步的，所述炉体的两侧上部内壁上均开设有滑槽一，所述滑槽一内均滑动设有滑块一，所述滑块一靠近所述籽晶杆的一侧均与相邻的所述支板固定连接。

进一步的，所述支板的底端均开设有滑槽二，所述滑槽二内均滑动设有滑块二，所述滑块二的底端均与相邻的所述连接杆的顶端固定连接。

进一步的，所述炉体的两侧内壁上和所述支板的前侧均设有刻度线。

进一步的，所述罩体靠近所述籽晶杆的一侧均贯穿开设有通槽，所述通槽的半径大于所述籽晶杆的半径。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置了罩体，在使用前，通过气缸一推动支板向下移动，从而使得支板推动气缸二和连接杆向下移动，进而使得连接杆带动罩体向下移动，通过观察刻度线可以控制罩体向下移动至合适位置处，然后通过向石墨坩埚内添加石英砂至罩体的底端位置处，此时将石英坩埚放置在石英砂上，然后通过气缸二推动连接杆进行移动，从而使得连接杆推动罩体进行移动，通过罩体可以对石英坩埚进行夹持，并推动石英坩埚至与籽晶杆同轴的位置处，从而可以有效的保证石英坩埚与籽晶杆处于同轴的状态，本实用新型结构简单，使用方便，可以方便调节石英坩埚至与籽晶杆处于同轴的位置，进而有效的提高了生产的质量。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的具体实施方式一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

图1是本实用新型一种高频感应单晶炉热场的主视图；