[实用新型]晶圆分片治具

摘要

本实用新型公开了一种晶圆分片治具，包括底板及推杆，底板的上表面设有呈相邻设置的第一放置区及第二放置区，推杆设于底板并水平移动，推杆具有推杆主体。推杆主体包括刻度杆、推臂及锁紧件。刻度杆竖直设置，推臂水平设置，锁紧件安装于推臂上，刻度杆有若干锁定孔，锁定孔的旁侧一一对应有标志。与现有技术相比，本实用新型的晶圆分片治具借助推杆主体，在转移晶圆之前，可事先调整好推臂的高度位置，使推臂的高度与标志所对应的晶圆的高度一致。调好推臂的高度位置后水平推动推杆即可将特定位置的晶圆从第一放置区的晶周转移至第二放置区的晶周中。故本实用新型的晶圆分片治具能够直接将目标片取出，提升作业效率，避免损毁晶圆。