[实用新型]一种水气脉冲的清洗装置有效
| 申请号： | 202120871595.3 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN214586377U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 郭亚军;李先明 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种水气脉冲的清洗装置，包括：第一接头、第二接头、水气脉冲发生器和储罐；水气脉冲发生器用于产生清洗管壁表面所需的水气脉冲；第一接头与待清洁管道的首端连通，用于将水气脉冲发生器产生的水气脉冲发送至待清洁管道；第二接头与待清洁管道的尾端连通，用于排出水气脉冲经过待清洁管道形成的清洗废液；储罐与第二接头连通，用于将清洗废液进行储存。本实用新型提供了一种水气脉冲的清洗装置，以有效去除光刻机冷却水管道的顽固污渍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水气 脉冲 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司，未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120871595.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：胶铁一体边框
- 下一篇：一种便携式无线蓝牙耳机装置
