[实用新型]一种水气脉冲的清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种水气脉冲的清洗装置，包括：第一接头、第二接头、水气脉冲发生器和储罐；水气脉冲发生器用于产生清洗管壁表面所需的水气脉冲；第一接头与待清洁管道的首端连通，用于将水气脉冲发生器产生的水气脉冲发送至待清洁管道；第二接头与待清洁管道的尾端连通，用于排出水气脉冲经过待清洁管道形成的清洗废液；储罐与第二接头连通，用于将清洗废液进行储存。本实用新型提供了一种水气脉冲的清洗装置，以有效去除光刻机冷却水管道的顽固污渍。

技术领域

本实用新型涉及光刻机冷却系统技术领域，尤其涉及一种水气脉冲的清洗装置。

背景技术

光刻机冷却水系统长时间循环后会在管路内壁产生杂质、水垢等污染物，污染物一般具有很低的导热系数，会影响冷却系统的性能。例如，物镜冷却水管内壁污染物会导致冷却水流量偏低，影响物镜热稳定性。因此需要有一套清洗装置对光刻机冷却水管路进行有效的定期清洗。

目前项目中对冷却水管路的清洗方法是从管路一端将洁净压缩空气(CDA)通入，对冷却水管路的管壁污染物进行吹扫。但是该方法费时较长，效果一般，不能有效去除顽固污染物，且在冷却水管路出口处需用一开口容器收集脱落后的管壁污染物，在洁净压缩空气的吹扫作用下，开口容器内的污染物存在被吹散造成二次污染的风险。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种水气脉冲的清洗装置，以提供一种有效去除光刻机冷却水管道的顽固污渍的可靠清洁装置。

本实用新型实施例提供了一种水气脉冲的清洗装置，包括：第一接头、第二接头、水气脉冲发生器和储罐；

所述水气脉冲发生器用于产生清洗管壁表面所需的水气脉冲；

所述第一接头与待清洁管道的首端连通，用于将所述水气脉冲发生器产生的水气脉冲发送至所述待清洁管道；

所述第二接头与所述待清洁管道的尾端连通，用于排出所述水气脉冲经过所述待清洁管道形成的清洗废液；

所述储罐与所述第二接头连通，用于将所述清洗废液进行储存。

本实用新型中，通过水气脉冲发生器产生水气脉冲，该水气脉冲即为水气二相混合流，该水气二相混合流通过第一接头进入待清洁管道，并利用水气二相混合流产生的振动、切削和冲击效应对待清洁管道内部污染物搅动、剥离并冲走，最终水气脉冲混合污染物形成清洗废液，清洗废液经过待清洁管道的尾端接入第二接头，并通过第二接头将清洗废液存入储罐，本实施例中的水气脉冲的清洗装置清洗能力较强，能够清洗顽固污渍，提高管道的清洁效率，而当上述管道为光刻机的冷却水管道时，上述水气脉冲的清洗装置能够确保冷却水系统性能稳定，保证冷却水温度的温度，从而确保光刻机工作状态的稳定。此外，上述待清洁管道的污染物跟随清洗废液排出，被液体所固定，不会被吹扫入空气中造成二次污染，提高污染物的清洁效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种水气脉冲的清洗装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的另一种水气脉冲的清洗装置的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的一种水气脉冲发生器的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的一种水气脉冲的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。