[实用新型]一种水气脉冲的清洗装置有效
| 申请号: | 202120871595.3 | 申请日: | 2021-04-26 |
| 公开(公告)号: | CN214586377U | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
| 发明(设计)人: | 郭亚军;李先明 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
| 地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 水气 脉冲 清洗 装置 | ||
1.一种水气脉冲的清洗装置,其特征在于,包括:第一接头、第二接头、水气脉冲发生器和储罐;
所述水气脉冲发生器用于产生清洗管壁表面所需的水气脉冲;
所述第一接头与待清洁管道的首端连通,用于将所述水气脉冲发生器产生的水气脉冲发送至所述待清洁管道;
所述第二接头与所述待清洁管道的尾端连通,用于排出所述水气脉冲经过所述待清洁管道形成的清洗废液;
所述储罐与所述第二接头连通,用于将所述清洗废液进行储存。
2.根据权利要求1所述的水气脉冲的清洗装置,其特征在于,还包括:过滤器;
所述过滤器与所述储罐连通,用于对所述清洗废液进行过滤形成清洁用水;
所述过滤器与所述水气脉冲发生器连通,用于将所述清洁用水输出至所述水气脉冲发生器以产生所述水气脉冲。
3.根据权利要求1所述的水气脉冲的清洗装置,其特征在于,所述水气脉冲发生器包括:隔膜泵和调节阀;
所述隔膜泵包括第一入口和第二入口;所述第一入口用于吸入清洁用水,所述第二入口用于吸入空气;所述隔膜泵用于将所述清洁用水和空气形成水气混合物;
所述调节阀与所述隔膜泵的第一出口连通,用于将所述水气混合物形成水气脉冲。
4.根据权利要求3所述的水气脉冲的清洗装置,其特征在于,所述第一入口设置有第一控制阀,用于调节所述水气混合物中的清洁用水的比例;
所述第二入口设置有第二控制阀,用于调节所述水气混合物中空气的比例。
5.根据权利要求4所述的水气脉冲的清洗装置,其特征在于,所述清洁用水的体积占所述清洁用水和空气总体积的比例大于或等于30%。
6.根据权利要求3所述的水气脉冲的清洗装置,其特征在于,所述调节阀还用于通过调节开关频率调节所述水气脉冲的脉冲频率。
7.根据权利要求3所述的水气脉冲的清洗装置,其特征在于,
所述隔膜泵为电动隔膜泵,所述隔膜泵通过线缆连接动力源;或者,所述隔膜泵为气动隔膜泵,所述隔膜泵通过压缩空气管连接动力源;
所述调节阀为电磁阀,所述调节阀通过线缆连接动力源;或者,所述调节阀为气动阀,所述调节阀通过压缩空气管连接动力源。
8.根据权利要求3所述的水气脉冲的清洗装置,其特征在于,所述第一接头和所述调节阀之间形成有透明管段,用于观察所述水气脉冲的形状;
所述透明管段的管壁内侧设置有压力表,所述压力表用于检测所述水气脉冲发生器输出的水气脉冲的脉冲压力。
9.根据权利要求2所述的水气脉冲的清洗装置,其特征在于,所述储罐包括第一排口,用于排出所述储罐内的清洗废液;所述过滤器包括第二排口,用于排出所述过滤器内剩余的清洁用水;
所述第一排口和所述第二排口连通,并通过第三控制阀进行排出控制。
10.根据权利要求1所述的水气脉冲的清洗装置,其特征在于,还包括:柜体和多个滚轮;
所述柜体用于容纳所述第一接头、第二接头、水气脉冲发生器和储罐;所述滚轮设置于柜体底部,用于实现所述柜体的移动。
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