[实用新型]一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列有效

专利信息
申请号: 202120801917.7 申请日: 2021-04-19
公开(公告)号: CN214336716U 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 郑子龙;胡双媛;王如志;张铭;严辉 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;G02B3/00;G02B1/113
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 张立改
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型提供了一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列,属于半导体器件领域。包括增透膜、微透镜阵列和底面,该微透镜阵列填充因子为100%,红外探测器焦平面光能利用率80%以上。进而将该微透镜阵列应用于红外探测器前端,提高整体器件的灵敏度。
搜索关键词: 一种 适用于 低温 长波 红外探测器 透镜 阵列
【主权项】:
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