[实用新型]一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列

权利要求书

1.一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列，其特征在于，包括增透膜、微透镜阵列和底面；微透镜阵列为位于底面之上的微透镜阵列；所述的底面为正方形，微透镜阵列中的单个微透镜单元为底部为四边形且上部为向上凸起的微透镜，单个微透镜单元底部周期性紧密排列布满底面的上表面，微透镜阵列底部在底面上的占空比为100％；单个微透镜单元底部四边形为等边菱形或正方形，所述增透膜是在微透镜阵列上面设有一层连续的金属化合物薄膜。

2.按照权利要求1所述的一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列，其特征在于，微透镜阵列的材料为碲锌镉。

3.按照权利要求1所述的一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列，其特征在于，每个微透镜单元中间部分在底面上的光投影形成光敏区，相邻两微透镜单元之间的连接区域在底面上的光投影形成非光敏区；

所述增透膜材料可为硫化锌或者氟化钇；对于红外区来说，当底面光敏区部分材料的折射率大于等于2时，使用硫化锌作为增透膜材料，当底部光敏区部分材料的折射率小于2时，使用氟化钇作为增透膜材料。

4.按照权利要求1所述的一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列，其特征在于，增透膜的厚度为0.1μm～0.8μm。

5.按照权利要求1所述的一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列，其特征在于，单个微透镜边长为15-25μm，单个微透镜的矢量高度为20-40μm。

6.按照权利要求1所述的一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列，其特征在于，单个微透镜边长为19-21μm，单个微透镜的矢量高度为30μm。