[实用新型]一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构

摘要

本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，包括：驱动模组；转接模组，其与所述驱动模组传动连接；以及炉门模组，其与所述转接模组固定连接；其中，所述炉门模组包括：炉门；以及支架，其固定安装于所述炉门的前端；所述炉门与所述支架之间设有至少两个弹性件。根据本实用新型，其通过在炉门与支架之间设有多个弹性件，以减少驱动模组驱动炉门分别沿X轴方向及Y轴方向活动时产生的冲击力，使得炉门得到较好的缓冲，从而保证了炉门与炉体关闭时炉体内气体更好的反应，提升反应效率。