[实用新型]一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构有效
申请号: | 202120701283.8 | 申请日: | 2021-04-07 |
公开(公告)号: | CN215628288U | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 仲冕;李旺鹏;王玉明 | 申请(专利权)人: | 苏州拓升智能装备有限公司 |
主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人: | 张川 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构,包括:驱动模组;转接模组,其与所述驱动模组传动连接;以及炉门模组,其与所述转接模组固定连接;其中,所述炉门模组包括:炉门;以及支架,其固定安装于所述炉门的前端;所述炉门与所述支架之间设有至少两个弹性件。根据本实用新型,其通过在炉门与支架之间设有多个弹性件,以减少驱动模组驱动炉门分别沿X轴方向及Y轴方向活动时产生的冲击力,使得炉门得到较好的缓冲,从而保证了炉门与炉体关闭时炉体内气体更好的反应,提升反应效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 适用于 pecvd 设备 炉门 缓冲 机构 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州拓升智能装备有限公司,未经苏州拓升智能装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202120701283.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种吸湿变色的抗菌鞋垫
- 下一篇:一种道路工程检测用取样装置
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的