[实用新型]一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构有效
申请号: | 202120701283.8 | 申请日: | 2021-04-07 |
公开(公告)号: | CN215628288U | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 仲冕;李旺鹏;王玉明 | 申请(专利权)人: | 苏州拓升智能装备有限公司 |
主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人: | 张川 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 pecvd 设备 炉门 缓冲 机构 | ||
本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构,包括:驱动模组;转接模组,其与所述驱动模组传动连接;以及炉门模组,其与所述转接模组固定连接;其中,所述炉门模组包括:炉门;以及支架,其固定安装于所述炉门的前端;所述炉门与所述支架之间设有至少两个弹性件。根据本实用新型,其通过在炉门与支架之间设有多个弹性件,以减少驱动模组驱动炉门分别沿X轴方向及Y轴方向活动时产生的冲击力,使得炉门得到较好的缓冲,从而保证了炉门与炉体关闭时炉体内气体更好的反应,提升反应效率。
技术领域
本实用新型涉及管式PECVD设备领域。更具体地说,本实用新型涉及一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构。
背景技术
在管式PECVD设备领域中,采用不同结构形式的炉门移动装置来实现炉门的移动是众所周知的。在研究和实现炉门的移动的过程中,发明人发现现有技术中的炉门移动装置至少存在如下问题:
现有的装置在进行炉门移动时会产生巨大的冲击力,时间长久后会对炉门产生损伤,以导致炉门与炉体关闭时不能较好的闭合,进而导致炉体内气体不能较好的反应,降低反应效率。
有鉴于此,实有必要开发一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构,用以解决上述问题。
实用新型内容
针对现有技术中存在的不足之处,本实用新型的主要目的是,提供一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构,其通过在炉门与支架之间设有多个弹性件,以减少驱动模组驱动炉门分别沿X轴方向及Y轴方向活动时产生的冲击力,使得炉门得到较好的缓冲,从而保证了炉门与炉体关闭时炉体内气体更好的反应,提升反应效率。
为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点,提供了一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构,包括:驱动模组;
转接模组,其与所述驱动模组传动连接;以及
炉门模组,其与所述转接模组固定连接;
其中,所述炉门模组包括:炉门;以及
支架,其固定安装于所述炉门的前端;
所述炉门与所述支架之间设有至少两个弹性件。
优选的是,所述炉门的表面设置有至少两个支柱部,所述支柱部沿与所述炉门竖直的方向延伸,且所述支柱部规则阵列;
每个所述弹性件套接于相应一个所述支柱部表面。
优选的是,所述支架包括:连接部,其与所述转接模组固定连接;以及
至少两个固定部,每个所述固定部一体式的结合于所述连接部的外周且沿所述连接部的外周向外延伸;
每个所述固定部与相应一个所述支柱部固定连接。
优选的是,所述驱动模组包括:X向驱动器,其沿X轴方向设置;以及
Y向驱动器,其沿Y轴方向设置,且所述Y向驱动器与所述X向驱动器的动力输出端传动连接,所述Y向驱动器的动力输出端与所述转接模组传动连接;
其中,所述X向驱动器驱动所述炉门沿X轴方向往复运动,所述Y向驱动器驱动所述炉门沿Y轴方向往复运动。
优选的是,所述X向驱动器沿Y轴方向的两侧均设有第一导向导轨,所述第一导向导轨的活动部与所述Y向驱动器传动连接。
优选的是,所述第一导向导轨的沿X轴方向两侧端部设有至少两个第一限位件。
优选的是,所述Y向驱动器的旁侧设有第二导向导轨,所述第二导向导轨的活动部与所述转接模组传动连接。
优选的是,所述第二导向导轨沿Y轴方向两侧端部设有至少两个第二限位件。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的