[实用新型]一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构

权利要求书

1.一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，包括：驱动模组(11)；

转接模组(12)，其与所述驱动模组(11)传动连接；以及

炉门模组(13)，其与所述转接模组(12)固定连接；

其中，所述炉门模组(13)包括：炉门(131)；以及

支架(132)，其固定安装于所述炉门(131)的前端；

所述炉门(131)与所述支架(132)之间设有至少两个弹性件(133)。

2.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述炉门(131)的表面设置有至少两个支柱部(1311)，所述支柱部(1311)沿与所述炉门(131)竖直的方向延伸，且所述支柱部(1311)规则阵列；

每个所述弹性件(133)套接于相应一个所述支柱部(1311)表面。

3.如权利要求2所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述支架(132)包括：连接部(1321)，其与所述转接模组(12)固定连接；以及

至少两个固定部(1322)，每个所述固定部(1322)一体式的结合于所述连接部(1321)的外周且沿所述连接部(1321)的外周向外延伸；

每个所述固定部(1322)与相应一个所述支柱部(1311)固定连接。

4.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述驱动模组(11)包括：X向驱动器(111)，其沿X轴方向设置；以及

Y向驱动器(112)，其沿Y轴方向设置，且所述Y向驱动器(112)与所述X向驱动器(111)的动力输出端传动连接，所述Y向驱动器(112)的动力输出端与所述转接模组(12)传动连接；

其中，所述X向驱动器(111)驱动所述炉门(131)沿X轴方向往复运动，所述Y向驱动器(112)驱动所述炉门(131)沿Y轴方向往复运动。

5.如权利要求4所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述X向驱动器(111)沿Y轴方向的两侧均设有第一导向导轨(113)，所述第一导向导轨(113)的活动部与所述Y向驱动器(112)传动连接。

6.如权利要求5所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述第一导向导轨(113)的沿X轴方向两侧端部设有至少两个第一限位件(1131)。

7.如权利要求4所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述Y向驱动器(112)的旁侧设有第二导向导轨(114)，所述第二导向导轨(114)的活动部与所述转接模组(12)传动连接。

8.如权利要求7所述的适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，其特征在于，所述第二导向导轨(114)沿Y轴方向两侧端部设有至少两个第二限位件(1141)。