[实用新型]一种Micro-OLED蒸镀用面蒸发源结构有效
| 申请号： | 202120666728.3 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN214991802U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 吕磊;刘胜芳;赵铮涛;李维维;许嵩;李雪原 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 孟迪 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种Micro‑OLED蒸镀用面蒸发源结构，属于蒸镀设备技术领域，该面蒸发源结构，包括加热装置、坩埚和蒸镀板，蒸镀板的内部设置有空腔，蒸镀板的顶面设置有与空腔相通连的多个喷嘴，坩埚的出口与蒸镀板之间通过连接管道相连；加热装置包括分别设置在坩埚、连接管道和蒸镀板上且可独立控制温度的加热部件Ⅰ、加热部件Ⅱ和加热部件Ⅲ，本实用新型的有益效果是，该面蒸发源结构设计简单合理，通过独立控制加热段的方式进行面蒸发，使蒸发源材料可顺利高效蒸镀，提高了蒸发源材料的附着效率和利用率，提高了镀膜厚度的均一性，减小了蒸镀膜层的shadow，可达到高PPI的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 micro oled 蒸镀用面 蒸发 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽熙泰智能科技有限公司，未经安徽熙泰智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120666728.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种麻醉注射器固定装置
- 下一篇：一种滚筒式拆包机
- 同类专利
- 专利分类
