[实用新型]一种Micro-OLED蒸镀用面蒸发源结构

权利要求书

1.一种Micro-OLED蒸镀用面蒸发源结构，其特征在于，包括加热装置、坩埚（1）和蒸镀板（2），所述蒸镀板（2）的内部设置有空腔，所述蒸镀板（2）的顶面设置有与所述空腔相通连的多个喷嘴（3），所述坩埚（1）的出口与蒸镀板（2）之间通过连接管道（4）相连；所述加热装置包括分别设置在所述坩埚（1）、连接管道（4）和蒸镀板（2）上且可独立控制温度的加热部件Ⅰ（5）、加热部件Ⅱ（6）和加热部件Ⅲ（7）。

2.根据权利要求1所述的Micro-OLED蒸镀用面蒸发源结构，其特征在于：所述加热部件Ⅰ（5）包括螺旋缠绕在所述坩埚（1）外周的加热丝Ⅰ（51），所述加热部件Ⅱ（6）包括螺旋缠绕在所述连接管道（4）外周的加热丝Ⅱ（61），所述加热部件Ⅲ（7）包括螺旋缠绕在所述蒸镀板（2）外侧的加热丝Ⅲ（71），所述加热丝Ⅰ（51）、加热丝Ⅱ（61）和加热丝Ⅲ（71）并联连接。

3.根据权利要求2所述的Micro-OLED蒸镀用面蒸发源结构，其特征在于：所述加热丝Ⅰ（51）、加热丝Ⅱ（61）和加热丝Ⅲ（71）由一根加热丝依次缠绕在所述坩埚（1）、连接管道（4）和蒸镀板（2）外侧形成，所述加热丝Ⅰ（51）、加热丝Ⅱ（61）和加热丝Ⅲ（71）的上分别设置有与温控器相连的连接接头（8）。

4.根据权利要求2或3所述的Micro-OLED蒸镀用面蒸发源结构，其特征在于：所述加热部件Ⅰ（5）还包括设置在所述坩埚（1）上的温度传感器Ⅰ（52），所述温度传感器Ⅰ（52）通过温控器与所述加热丝Ⅰ（51）相连。

5.根据权利要求4所述的Micro-OLED蒸镀用面蒸发源结构，其特征在于：所述加热部件Ⅱ（6）还包括设置在所述连接管道（4）上的温度传感器Ⅱ（62），所述温度传感器Ⅱ（62）通过温控器与所述加热丝Ⅱ（61）相连。

6.根据权利要求4所述的Micro-OLED蒸镀用面蒸发源结构，其特征在于：所述加热部件Ⅲ（7）还包括设置在所述蒸镀板（2）上的温度传感器Ⅲ（72），所述温度传感器Ⅲ（72）通过温控器与所述加热丝Ⅲ（71）相连。

7.根据权利要求6所述的Micro-OLED蒸镀用面蒸发源结构，其特征在于：所述加热丝Ⅲ（71）包括主加热段（711）和辅加热段（712），所述主加热段（711）沿着所述蒸镀板（2）的外周方向缠绕，所述辅加热段（712）沿着所述蒸镀板（2）的宽度方向缠绕。

8.根据权利要求1所述的Micro-OLED蒸镀用面蒸发源结构，其特征在于：所述蒸镀板（2）顶面的多个喷嘴（3）由内向外成多圈布置，且每个布置圈上的喷嘴（3）的口径相等，所述喷嘴（3）的口径由蒸镀板（2）的中心向外周依次减小。