[实用新型]一种电子束蒸发式PAD薄膜芯片装置有效
| 申请号: | 202120510861.X | 申请日: | 2021-03-10 |
| 公开(公告)号: | CN214400693U | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
| 发明(设计)人: | 钟江 | 申请(专利权)人: | 深圳市同和光电科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/50 |
| 代理公司: | 深圳市汇信知识产权代理有限公司 44477 | 代理人: | 赵英杰 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安区新安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型提供一种电子束蒸发式PAD薄膜芯片装置,包括镀膜箱和镀膜装置,镀膜装置包括固定圈,固定圈的表面开设有滑槽,转盘的表面固定连接有至少三个连接杆,连接杆的一端固定连接有连接柱,连接柱远离连接杆的另一端固定连接有转轴,转轴的表面固定连接有滑杆,转轴的内表面转动连接有半球体,半球体的内表面活动连接有芯片若干。本实用新型,通过设置镀膜装置,将芯片安装于半球体表面,转盘转动时连接杆带动半球体转动,连接杆带动半球体转动的同时由于离心力的作用,半球体在连接杆表面自行转动,传统的镀膜只有一个半球体自转,工作效率低,对镀膜材料利用不充分,造成浪费,该装置的应用能有效的避免上述问题并提高了易用性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 电子束 蒸发 pad 薄膜 芯片 装置 | ||
【主权项】:
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