[实用新型]一种压电式MEMS加速度传感器有效
| 申请号： | 202120476987.X | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN214409044U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 李冠华;刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种压电式MEMS加速度传感器，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在衬底上方并且覆盖空腔；第一电极层，形成在振动支撑层上方；第一压电层，形成在第一电极层上方；第二电极层，形成在第一压电层上方；开口，位于空腔上方，并且从第二电极层的上表面连续延伸至第一电极层的下表面；质量块，位于开口区域内，并且质量块与振动支撑层直接接触。该MEMS加速度传感器的谐振频率易于调节谐振频率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 mems 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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