[实用新型]一种全自动半导体视觉检查机

摘要

本实用新型涉及半导体检测设备领域，具体地说，涉及一种全自动半导体视觉检查机。包括内置有控制主机的主机箱、供料机构、上料机构、旋转送料机构、若干个视觉检查装置、若干个姿态调整装置和收料机构。本实用新型实现了自动检查半导体产品的外观，经过多次对半导体的姿态调整，配合高分辨率的视觉摄像头，检查产品的所有外表面，一次旋转，各个工位同时进行作业，各个摄像头同时拍摄，旋转节拍非常短，效率高，检测过程无需人为参与，人员占有率低，可脱机作业；无人员接触产品，不会对产品外观造成二次污染，而且，品控稳定，漏检率为零；同时，人机交互友好，低能耗，高性能，设备寿命长，无废水废气等排放。