[实用新型]一种光电芯片企业特气供应系统

摘要

本实用新型涉及特种气体供应技术领域，尤其涉及一种光电芯片企业特气供应系统，包括监控系统、多个特气瓶、多个机台，多个特气瓶安装在特气房内，多个机台安装在厂房内，监控系统监控多个特气瓶以及多个机台，监控系统包括第一监控电脑、第二监控电脑和厂务控制端，用来解决在特气的源头和使用端发生泄露时，由于没有设置与特气泄漏关联的报警装置，导致现场的工人以及在监控中心的管理人员不能及时知道特气气体发生泄漏，导致泄漏的特气更多，造成更大的危害，且在分流处没有进行检测，导致分流处泄漏时，不容易被发现，容易导致事故发生的问题。