[实用新型]一种光电芯片企业特气供应系统

权利要求书

1.一种光电芯片企业特气供应系统，包括监控系统、多个特气瓶、多个机台，多个所述特气瓶均匀分布的安装在特气房内，多个所述机台均匀分布的安装在厂房内，其特征在于：所述监控系统监控多个特气瓶以及多个机台，所述监控系统包括第一监控电脑、第二监控电脑和厂务控制端，所述第一监控电脑和第二监控电脑均和厂务控制端电连接，所述第一监控电脑同时监控连接多个特气瓶，所述第二监控电脑同时监控连接多个机台，所述特气瓶与机台之间设置有特气分流柜，所述特气分流柜与第二监控电脑监控连接。

2.根据权利要求1所述的一种光电芯片企业特气供应系统，其特征在于：所述第一监控电脑安装在特气房内，所述特气房内设置有第一隔间，所述第一监控电脑安装在第一隔间内，每个所述特气瓶上均设置有特气柜，所述特气柜上设置有排风口，所述特气柜于排风口的位置设置有第一毒气检测报警装置，所述第一毒气检测报警装置和第一监控电脑导线连接，每个所述特气瓶上均连接有第一气管，所述第一气管于特气柜内安装有第一气动阀，所述第一气动阀与第一监控电脑电连接。

3.根据权利要求2所述的一种光电芯片企业特气供应系统，其特征在于：所述第二监控电脑安装在厂房内，所述厂房内设置第二隔间，所述第二监控电脑安装在第二隔间内，所述第一气管于厂房内连接有总管，所述总管上设置有多个支管，每个所述支管对用连接一个机台，所述支管的输出端均设置有第二气动阀，所述第二气动阀与第二监控电脑电连接，所述机台上还设置有第二毒气检测报警装置，所述第二毒气检测报警装置与第二监控电脑导线连接。

4.根据权利要求3所述的一种光电芯片企业特气供应系统，其特征在于：所述特气分流柜安装在总管和支管的连接端，每个所述支管的输入端均设置有第三气动阀，所述第三气动阀均位于特气分流柜内，所述特气分流柜上设置有抽风口，所述抽风口上设置有第三毒气检测报警装置，所述第三毒气检测报警装置和第二监控电脑导线连接。

5.根据权利要求4所述的一种光电芯片企业特气供应系统，其特征在于：所述厂务控制端设置在远离特气房和厂房的地方，所述厂务控制端远程控制第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀。

6.根据权利要求5所述的一种光电芯片企业特气供应系统，其特征在于：所述特气房上设置有第一排风机，所述特气分流柜上设置有第二排风机，所述机台上设置有抽风机，所述第一排风机与第一监控电脑电连接，所述第二排风机与第二监控电脑电连接，所述抽风机与第二监控电脑电连接，所述第一排风机上连接有第二气管，所述第二排风机上连接有第三气管，所述抽风机上连接有第四气管，所述第二气管、第三气管和第四气管均连接有净化室内。