[实用新型]一种光电芯片企业特气供应系统

说明书

本实用新型涉及特种气体供应技术领域，尤其涉及一种光电芯片企业特气供应系统，包括监控系统、多个特气瓶、多个机台，多个特气瓶安装在特气房内，多个机台安装在厂房内，监控系统监控多个特气瓶以及多个机台，监控系统包括第一监控电脑、第二监控电脑和厂务控制端，用来解决在特气的源头和使用端发生泄露时，由于没有设置与特气泄漏关联的报警装置，导致现场的工人以及在监控中心的管理人员不能及时知道特气气体发生泄漏，导致泄漏的特气更多，造成更大的危害，且在分流处没有进行检测，导致分流处泄漏时，不容易被发现，容易导致事故发生的问题。

技术领域

本实用新型涉及特种气体供应技术领域，尤其涉及一种光电芯片企业特气供应系统。

背景技术

半导体、平板显示器以及其他电子产品生产时用的气体称为电子特种特气，简称为特气。在光电芯片制造过程中，特气也广泛的参与每一个步骤。但是由于许多特种气体大都具有剧毒，易燃易爆等特性。所以整个芯片企业对特气系统要求安全稳定。所以对于芯片企业建立一条完善的特气系统对于整个公司的安全生产尤为重要。

现在的特气供应中，一般有对特气的源头和使用端进行监测，保证特气的安全使用，但特气的源头和使用端发生泄露时，由于没有设置与特气泄漏关联的报警装置，一般是特气泄漏到一定程度后，才发现特气的泄漏，导致现场的工人以及在监控中心的管理人员不能及时知道特气气体发生泄漏，导致泄漏的特气更多，造成更大的危害，且特气一般是从源头供应到使用端前再进行分流，分流后的特气直接供应到使用端使用，但在分流处没有进行检测，导致分流处泄漏时，不容易被发现，容易导致事故的发生。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种光电芯片企业特气供应系统，用来解决在特气的源头和使用端发生泄露时，由于没有设置与特气泄漏关联的报警装置，导致现场的工人以及在监控中心的管理人员不能及时知道特气气体发生泄漏，导致泄漏的特气更多，造成更大的危害，且在分流处没有进行检测，导致分流处泄漏时，不容易被发现，容易导致事故发生的问题。

本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：

一种光电芯片企业特气供应系统，包括监控系统、多个特气瓶、多个机台，多个所述特气瓶均匀分布的安装在特气房内，多个所述机台均匀分布的安装在厂房内，所述监控系统监控多个特气瓶以及多个机台，所述监控系统包括第一监控电脑、第二监控电脑和厂务控制端，所述第一监控电脑和第二监控电脑均和厂务控制端电连接，所述第一监控电脑同时监控连接多个特气瓶，所述第二监控电脑同时监控连接多个机台，所述特气瓶与机台之间设置有特气分流柜，所述特气分流柜与第二监控电脑监控连接。

进一步，所述第一监控电脑安装在特气房内，所述特气房内设置有第一隔间，所述第一监控电脑安装在第一隔间内，每个所述特气瓶上均设置有特气柜，所述特气柜上设置有排风口，所述特气柜于排风口的位置设置有第一毒气检测报警装置，所述第一毒气检测报警装置和第一监控电脑导线连接，多个所述特气瓶上均连接有第一气管，所述第一气管于特气柜内安装有第一气动阀，所述第一气动阀与第一监控电脑电连接。

进一步，所述第二监控电脑安装在厂房内，所述厂房内设置第二隔间，所述第二监控电脑安装在第二隔间内，所述第一气管于厂房内连接有总管，所述总管上设置有多个支管，每个所述支管对用连接一个机台，所述支管的输出端均设置有第二气动阀，所述第二气动阀与第二监控电脑电连接，所述机台上还设置有第二毒气检测报警装置，所述第二毒气检测报警装置与第二监控电脑导线连接。

进一步，所述特气分流柜安装在总管和支管的连接端，每个所述支管的输入端均设置有第三气动阀，所述第三气动阀均位于特气分流柜内，所述特气分流柜上设置有抽风口，所述抽风口上设置有第三毒气检测报警装置，所述第三毒气检测报警装置和第二监控电脑导线连接。

进一步，所述厂务控制端设置在远离特气房和厂房的地方，所述厂务控制端远程控制第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀。