[实用新型]一种自动对准移动掩模光刻机

摘要

本实用新型涉及光刻机技术领域，且公开了一种自动对准移动掩模光刻机，包括基台、硅片台、支撑柱、掩膜版滑台、成像光刻透镜、滑轨、移动承载台、紧固把手、紫光透镜、紫光光源和掩膜版，所述基台的上表面活动安装有硅片台，所述基台上表面的两侧均连接有支撑柱，所述支撑柱的上端安装有掩膜版滑台，所述掩膜版滑台的中部位置开设有成像孔，所述掩膜版滑台的两侧开设有滑轨。该自动对准移动掩模光刻机，通过在掩膜版滑台上设置有活动安装的移动承载台，整体通过简单便捷的安装操作，使多个掩膜版均可稳定可靠的固定在掩膜版凹槽内，使掩膜版自动对准到方便进行光刻操作的位置，提升了光刻机的工作效率，减轻了工作人员的工作负担。