[实用新型]一种真空镀膜在线方阻检测仪有效
| 申请号： | 202120057354.5 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN214174506U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 刘文卿;臧世伟 | 申请（专利权）人： | 重庆金美新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 深圳市远航专利商标事务所(普通合伙) 44276 | 代理人： | 张朝阳;田艺儿 |
| 地址： | 401420 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了真空镀膜检测仪器领域中的一种真空镀膜在线方阻检测仪，包括方阻仪和与方阻仪电连接的检测探头，检测探头与真空镀膜装置的腔体密封连接，其内部伸入真空镀膜装置内部，并与镀膜的膜面接触。本实用新型解决了传统方式只能在薄膜制备完成之后才能测量方阻的问题，通过将方阻仪的检测探头伸入真空镀膜装置的内部，实现了薄膜产品膜面的在线检测，可以确保薄膜制作过程中可以随时根据方阻值调整工艺参数，保证产品达到所需效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 在线 检测 | ||
【主权项】：
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