[实用新型]一种真空镀膜在线方阻检测仪

说明书

本实用新型公开了真空镀膜检测仪器领域中的一种真空镀膜在线方阻检测仪，包括方阻仪和与方阻仪电连接的检测探头，检测探头与真空镀膜装置的腔体密封连接，其内部伸入真空镀膜装置内部，并与镀膜的膜面接触。本实用新型解决了传统方式只能在薄膜制备完成之后才能测量方阻的问题，通过将方阻仪的检测探头伸入真空镀膜装置的内部，实现了薄膜产品膜面的在线检测，可以确保薄膜制作过程中可以随时根据方阻值调整工艺参数，保证产品达到所需效果。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜检测仪器领域，具体的说，是涉及一种真空镀膜在线方阻检测仪。

背景技术

柔性导电薄膜(例如ITO薄膜)的电学性能可以通过方阻值进行表征，方阻值是指单位方块平面导电体的电阻，由于单位正方形导电体的方阻值与其厚度有关，因此可以通过测定方阻即可推算出该导电薄膜的厚度。

区别于普通电阻，目前薄膜电阻用方块电阻表示，方块电阻的测量仪器是专用的四探针电阻表。然而现有的方阻检测仪只能在薄膜制成之后再进行测量，无法做到实时在线检测。因此在薄膜不合要求时再进行“返工”，这样增加了薄膜产品的生产工序，无法做到生产时的在线调整。

现在需要一种能够在薄膜生产过程中对其方阻值进行在线检测的设备。

发明内容

为了克服现有的技术的不足，本实用新型提供一种真空镀膜在线方阻检测仪。

本实用新型技术方案如下所述：

一种真空镀膜在线方阻检测仪，包括方阻仪和与所述方阻仪电连接的检测探头，其特征在于，所述检测探头与真空镀膜装置的腔体密封连接，其内部伸入所述真空镀膜装置内部，并与镀膜的膜面接触。

根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述真空镀膜装置包括墙板，所述墙板上开设有与所述检测探头相匹配的孔洞。

根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述检测探头包括导电轴和设于所述导电轴上的四个导轮，所述导轮与所述真空镀膜装置内的膜面接触并随其滚动。

进一步的，所述检测探头的端部设有转换插头，所述转换插头与所述真空镀膜装置的腔体密封连接，所述转换插头与所述方阻仪的插头连接。

更进一步的，每个所述导轮分别通过对应的导线与所述转换插头连接，所述导线位于所述导电轴内。

进一步的，四个所述导轮位于同一所述导电轴上，或四个所述导轮位于不同的所述导电轴上。

进一步的，所述检测探头与真空镀膜装置内的过辊配合挤压，使得镀膜从所述过辊与所述导轮之间穿过。

进一步的，所述导轮为金属材质。

更进一步的，所述导轮为黄铜材质或紫铜材质。

根据上述方案的本实用新型，其有益效果在于，本实用新型通过将方阻仪的检测探头伸入真空镀膜装置的内部，实现了薄膜产品膜面的在线检测，解决了传统方式只能在薄膜制备完成之后才能测量方阻的问题，通过对薄膜方阻的实时检测，可以确保薄膜制作过程中可以随时根据方阻值调整工艺参数，保证产品达到所需效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

在图中，1-方阻仪；21-导电轴；22-导轮；23-转换插头；3-墙板。

具体实施方式

下面结合附图以及实施方式对本实用新型进行进一步的描述：