[实用新型]一种真空镀膜在线方阻检测仪有效
| 申请号： | 202120057354.5 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN214174506U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 刘文卿;臧世伟 | 申请（专利权）人： | 重庆金美新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 深圳市远航专利商标事务所(普通合伙) 44276 | 代理人： | 张朝阳;田艺儿 |
| 地址： | 401420 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 在线 检测 | ||
1.一种真空镀膜在线方阻检测仪，包括方阻仪和与所述方阻仪电连接的检测探头，其特征在于，所述检测探头与真空镀膜装置的腔体密封连接，其内部伸入所述真空镀膜装置内部，并与镀膜的膜面接触。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，所述真空镀膜装置包括墙板，所述墙板上开设有与所述检测探头相匹配的孔洞。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，所述检测探头包括导电轴和设于所述导电轴上的四个导轮，所述导轮与所述真空镀膜装置内的膜面接触并随其滚动。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，所述检测探头的端部设有转换插头，所述转换插头与所述真空镀膜装置的腔体密封连接，所述转换插头与所述方阻仪的插头连接。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，每个所述导轮分别通过对应的导线与所述转换插头连接，所述导线位于所述导电轴内。
6.根据权利要求3所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，四个所述导轮位于同一所述导电轴上，或四个所述导轮位于不同的所述导电轴上。
7.根据权利要求3所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，所述检测探头与真空镀膜装置内的过辊配合挤压，使得镀膜从所述过辊与所述导轮之间穿过。
8.根据权利要求3所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，所述导轮为金属材质。
9.根据权利要求8所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，所述导轮为黄铜材质或紫铜材质。
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