[实用新型]一种硅片加工用固定装置有效

专利信息
申请号: 202120046524.X 申请日: 2021-01-08
公开(公告)号: CN214378383U 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 祝凯 申请(专利权)人: 开化晶芯电子有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/78
代理公司: 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 代理人: 虞乘乘
地址: 324300 浙江省衢州市开*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及硅片技术领域,且公开了一种硅片加工用固定装置,包括固定座,所述固定座的顶部粘接有胶带,所述胶带的顶部粘接有晶圆,所述固定座的内部活动连接有连杆,所述连杆的侧表面连接有弹片,所述弹片的内部连接有转动管,所述转动管的内部活动连接有伸长杆,所述伸长杆的底端固定连接有垫块。该硅片加工用固定装置,通过固定座、连杆、弹片、转动管、伸长杆、垫块、转管、转动块、第一齿轮、转轴、第二齿轮和把手之间的相互配合,可以通过转动把手带动转动块移动,从而将晶圆固定在固定座顶部,达到了防止硅片在切割时发生偏移的效果,解决了当UV胶带在使用后,粘性下降,导致硅片在切割时发生偏移的问题。
搜索关键词: 一种 硅片 工用 固定 装置
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