[实用新型]一种硅片加工用固定装置

说明书

本实用新型涉及硅片技术领域，且公开了一种硅片加工用固定装置，包括固定座，所述固定座的顶部粘接有胶带，所述胶带的顶部粘接有晶圆，所述固定座的内部活动连接有连杆，所述连杆的侧表面连接有弹片，所述弹片的内部连接有转动管，所述转动管的内部活动连接有伸长杆，所述伸长杆的底端固定连接有垫块。该硅片加工用固定装置，通过固定座、连杆、弹片、转动管、伸长杆、垫块、转管、转动块、第一齿轮、转轴、第二齿轮和把手之间的相互配合，可以通过转动把手带动转动块移动，从而将晶圆固定在固定座顶部，达到了防止硅片在切割时发生偏移的效果，解决了当UV胶带在使用后，粘性下降，导致硅片在切割时发生偏移的问题。

技术领域

本实用新型涉及硅片技术领域，具体为一种硅片加工用固定装置。

背景技术

硅片在经过各种清洗、成膜、光刻、刻蚀和掺杂等步骤后，硅片上就刻蚀了一整套集成电路，一个硅片上含有多个晶粒，若想将晶粒取下，需要对晶圆进行分割，在对晶圆进行划分时，需要用到晶圆切割专用的UV胶带进行固定，但UV胶带在长时间使用后，粘性下降，此时再对硅片进行分割，可能会使硅片在切割时发生偏移，从而导致硅片因切割位置偏移而报废。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片加工用固定装置，具备防止硅片在切割时发生偏移的优点，解决了当UV胶带在使用后，粘性下降，导致硅片在切割时发生偏移的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片加工用固定装置，包括固定座，所述固定座的顶部粘接有胶带，所述胶带的顶部粘接有晶圆，所述固定座的内部活动连接有连杆，所述连杆的侧表面连接有弹片，所述弹片的内部连接有转动管，所述转动管的内部活动连接有伸长杆，所述伸长杆的底端固定连接有垫块，所述垫块的底部与晶圆的顶部抵持，所述固定座的内部开设有固定槽，所述固定槽的内部活动连接有转管，所述转管的内部螺纹连接有转动块，所述转动块的顶部与连杆的底端固定连接，所述转管的侧表面固定套接有第一齿轮，所述固定座的内部连接有转轴，所述转轴的侧表面固定套接有第二齿轮和把手，所述第一齿轮与第二齿轮啮合。

优选的，所述固定座的内部开设有通孔，所述连杆的侧表面与通孔的内部活动连接。

优选的，所述弹片的内部开设有固定孔，所述连杆的侧表面与固定孔的内部活动连接，所述连杆的侧表面螺纹连接有锁定螺母。

优选的，所述固定座的内部开设有通槽，所述通槽的内部与固定槽的内部连通，所述转轴的侧表面与通槽的内部活动连接。

优选的，所述弹片的内部开设有螺纹槽，所述转动管的侧表面与螺纹槽的内部螺纹连接，所述转动管的内顶壁固定连接有弹簧，所述弹簧的底端与伸长杆的顶端固定连接。

优选的，所述伸长杆的左右两侧均固定连接有限位块，所述转动管左右两侧的内壁均开设有限位槽，所述限位块位于限位槽的内部。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片加工用固定装置，具备以下有益效果：

1、该硅片加工用固定装置，通过固定座、连杆、弹片、转动管、伸长杆、垫块、转管、转动块、第一齿轮、转轴、第二齿轮和把手之间的相互配合，可以通过转动把手带动转动块移动，从而将晶圆固定在固定座顶部，达到了防止硅片在切割时发生偏移的效果，解决了当UV胶带在使用后，粘性下降，导致硅片在切割时发生偏移的问题。

2、该硅片加工用固定装置，通过转动管、伸长杆、垫块、弹簧、限位块和限位槽之间的相互配合，可以通过拧动转动管来调节垫块与晶圆间压力的大小，达到了便于调节垫块固定压力的效果，解决了垫块对晶圆的固定压力不便调节的问题。

附图说明

图1为本实用新型局部剖视图；

图2为本实用新型图1中A处放大图；