[实用新型]一种硅片加工用固定装置

权利要求书

1.一种硅片加工用固定装置，包括固定座(1)，其特征在于：所述固定座(1)的顶部粘接有胶带(2)，所述胶带(2)的顶部粘接有晶圆(3)，所述固定座(1)的内部活动连接有连杆(4)，所述连杆(4)的侧表面连接有弹片(5)，所述弹片(5)的内部连接有转动管(6)，所述转动管(6)的内部活动连接有伸长杆(7)，所述伸长杆(7)的底端固定连接有垫块(8)，所述垫块(8)的底部与晶圆(3)的顶部抵持，所述固定座(1)的内部开设有固定槽(9)，所述固定槽(9)的内部活动连接有转管(10)，所述转管(10)的内部螺纹连接有转动块(11)，所述转动块(11)的顶部与连杆(4)的底端固定连接，所述转管(10)的侧表面固定套接有第一齿轮(12)，所述固定座(1)的内部连接有转轴(13)，所述转轴(13)的侧表面固定套接有第二齿轮(14)和把手(15)，所述第一齿轮(12)与第二齿轮(14)啮合。

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用固定装置，其特征在于：所述固定座(1)的内部开设有通孔，所述连杆(4)的侧表面与通孔的内部活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片加工用固定装置，其特征在于：所述弹片(5)的内部开设有固定孔，所述连杆(4)的侧表面与固定孔的内部活动连接，所述连杆(4)的侧表面螺纹连接有锁定螺母(16)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用固定装置，其特征在于：所述固定座(1)的内部开设有通槽，所述通槽的内部与固定槽(9)的内部连通，所述转轴(13)的侧表面与通槽的内部活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片加工用固定装置，其特征在于：所述弹片(5)的内部开设有螺纹槽，所述转动管(6)的侧表面与螺纹槽的内部螺纹连接，所述转动管(6)的内顶壁固定连接有弹簧(17)，所述弹簧(17)的底端与伸长杆(7)的顶端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片加工用固定装置，其特征在于：所述伸长杆(7)的左右两侧均固定连接有限位块(18)，所述转动管(6)左右两侧的内壁均开设有限位槽，所述限位块(18)位于限位槽的内部。