[发明专利]边缘电容器、集成电路和用于边缘电容器的制造工艺在审
申请号: | 202111625738.3 | 申请日: | 2021-12-28 |
公开(公告)号: | CN114765164A | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | N·特珀尔内尼;M·P·考夫曼;M·吕德斯;J·约翰 | 申请(专利权)人: | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/64 | 分类号: | H01L23/64;H01L27/06 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 徐东升 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请题为“边缘电容器、集成电路和用于边缘电容器的制造工艺”。本发明提供了电容器(C),该电容器具有由金属层制成的第一结构(E1)和由相同金属层制成的第二结构(E2)以及在第一(E1)和第二(E2)金属结构之间的介电层(PO/SiN),其中介电层(PO/SiN)具有大于4、特别是大于6的相对介电常数。还提供了包括这样的电容器和可选的其他部件的单片集成电路。还提供了制造这种电容器的方法。 | ||
搜索关键词: | 边缘 电容器 集成电路 用于 制造 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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