[发明专利]一种镀膜设备有效
| 申请号： | 202111597018.0 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114717653B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 经军辉;肖蕴章;黄帅帅;陈炳安;钟国仿 | 申请（专利权）人： | 深圳市纳设智能装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/18;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 贾耀斌 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区凤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜设备，涉及化学气相沉积技术领域。镀膜设备包括壳体、机械手腔体、反应室、气路组件和驱动组件；壳体与机械手腔体相连，壳体上接有柔性管道；反应室位于壳体内，反应室朝向机械手腔体的一侧设有进气通道；气路组件穿设于柔性管道内，并与柔性管道密封连接，气路组件位于反应室朝向机械手腔体的一侧；驱动组件与气路组件相连。镀膜设备将气路组件和机械手腔体设置在反应室的同一侧，不影响机械手取放反应室内的物品，在维护时仅需将壳体远离机械手腔体的一端打开，即可取出反应室内部的零件进行打磨清洗，有效地降低了维护的总耗时。此外，机械手不经过副反应产物聚集区，避免疏松的副反应产物掉落在晶圆表面，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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