[发明专利]一种镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜设备，其特征在于，包括壳体、机械手腔体、反应室、气路组件和驱动组件；

所述壳体的一端与所述机械手腔体相连，所述壳体的侧壁上接有柔性管道；

所述反应室位于所述壳体内，所述反应室朝向所述机械手腔体的一侧设有进气通道，所述机械手腔体内的机械手从所述进气通道进入所述反应室内部取放晶圆；

所述气路组件穿设于所述柔性管道内，并与所述柔性管道远离所述壳体的一端密封连接，所述气路组件位于所述反应室朝向所述机械手腔体的一侧，所述气路组件与所述反应室抵接以通过所述进气通道连通至所述反应室内部；

所述驱动组件与所述气路组件相连，所述驱动组件用于驱使所述气路组件移动以将所述进气通道露出；

所述反应室朝向所述机械手腔体的一侧设有卡口部以形成所述进气通道，所述气路组件朝向所述反应室的一侧设有卡接部；

所述驱动组件还用于驱使所述气路组件沿所述进气通道的轴向移动，以使所述卡接部与所述卡口部插接或脱离；

所述驱动组件包括安装底板、滑槽板、连接底板和直线驱动件；

所述滑槽板固设于所述安装底板上，所述滑槽板上开设有第一滑槽和第二滑槽，所述第一滑槽沿所述进气通道的轴向设置，所述第二滑槽与所述第一滑槽之间的夹角为钝角；

所述连接底板通过所述第一滑槽和所述第二滑槽与所述滑槽板滑动配合，所述连接底板与所述气路组件相连；

所述直线驱动件设置于所述安装底板上，所述直线驱动件用于向所述连接底板施加沿所述进气通道轴向的驱动力；

所述驱动组件还包括滑块底板，所述滑块底板沿所述进气通道的轴向滑动设置在所述安装底板上，所述滑块底板与所述连接底板平行，所述滑块底板通过连杆与所述连接底板相连；

所述连杆成对设置，所述连杆的两端分别与所述滑块底板和所述连接底板铰接；

所述直线驱动件与所述滑块底板相连，以通过所述滑块底板和所述连杆驱使所述连接底板移动。

2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述安装底板上设有减震块，所述减震块成对设置，分别与所述滑块底板沿所述进气通道轴向的两端相对。

3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述安装底板上固设有第三固定板，所述第三固定板上滑动穿设有减震连接杆；

所述减震连接杆沿所述进气通道的轴向设置，所述减震连接杆上套设有调节螺母，且所述调节螺母成对设置在所述第三固定板的两侧；

所述减震块与所述减震连接杆相连。

4.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述气路组件包括支架、进气管、进气板和进气盘；

所述支架穿设于所述柔性管道内，所述支架的一端与所述驱动组件相连；

所述进气管设有多个，所述进气管与所述支架相连，并穿设于所述柔性管道内；

所述进气板位于所述壳体内，并固定于所述支架上，所述进气板内设有多个气室，多个所述气室分别与多个所述进气管连通；

所述进气盘固定连接于所述进气板朝向所述反应室的一侧，所述进气盘内设有气道，所述气道同时与多个所述气室连通。

5.根据权利要求4所述的镀膜设备，其特征在于，所述进气板朝向所述进气盘的一侧设有均气板，所述均气板上开设有多个气孔，多个所述气孔均匀分布，所述气室通过所述气孔与所述气道连通。

6.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，所述气室内设有均气挡板，所述均气挡板位于所述气室的进气口朝向所述均气板的一侧。