[发明专利]一种太阳能电池的制造方法在审
申请号: | 202111592353.1 | 申请日: | 2021-12-23 |
公开(公告)号: | CN116387395A | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 万王超;贾光亮;陈德超;仲春华;王建波;吕俊 | 申请(专利权)人: | 西安隆基乐叶光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/02 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 710000 陕西省西安市国家民用*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开一种太阳能电池的制造方法,涉及太阳能电池技术领域,以解决采用酸液去除绕镀掺杂硅层时损伤电池的扩散层的问题。所述太阳能电池的制造方法提供待刻蚀硅片,硅片的第一表面上具有硼硅玻璃层;在硼硅玻璃层上至少部分覆盖有掺杂硅层,和/或,在硅片侧面上至少部分覆盖有掺杂硅层;利用至少包含硝酸和氢氟酸的混酸溶液,对硅片的第一表面和/或侧面进行酸刻蚀处理,以去除掺杂硅层且保留硼硅玻璃层,混酸溶液中氢氟酸和硝酸的体积比为1:(10~33),其中,氢氟酸的质量浓度为48%~50%,硝酸的质量浓度为64%~66%,并且,所述硝酸的体积占混酸溶液的总体积之比不小于80%。本发明提供的太阳能电池的制造方法用于制作太阳能电池。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 制造 方法 | ||
【主权项】:
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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