[发明专利]微弱光光谱测量器件和光谱仪在审
| 申请号： | 202111580401.5 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN114497343A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 张巍;郑敬元;冯雪;刘仿;崔开宇;黄翊东 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L39/08 | 分类号： | H01L39/08;H01L39/02;H01L39/12;H01L31/0352;H01L31/09;H01L25/04;G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李梦晨 |
| 地址： | 100084 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于光谱设备领域，提供一种微弱光光谱测量器件和光谱仪，包括衬底和设置在衬底上表面的至少两个探测单元，一个探测单元包括一个光调制微纳结构单元和一个超导纳米线单光子探测器单元。光调制微纳结构单元可以对入射光光谱实现一定的调制作用，超导纳米线单光子探测器单元用于探测调制后的光子，或者本身也作为光调制结构与已有的光调制微纳结构单元共同对光子产生光谱调制作用并探测光子，使每个探测单元均具有宽光谱探测特征，可使用计算光谱重建的方法测量光谱，使光子利用率大大提高。光调制微纳结构本身的谐振作用也具有增强超导纳米线单光子探测器探测效率的作用，缩短测量时间。 | ||
| 搜索关键词： | 微弱 光谱 测量 器件 光谱仪 | ||
【主权项】：
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